DOI: https://doi.org/10.24144/2415-8038.2009.26.104-117

Cпектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи tio2–zro2–hfo2

О. Нагусько, І. Студеняк

Анотація


Проведено еліпсометричні та спектрометричні дослідження тонких плівок системи
TiO2–ZrO2–HfO2. Одержано дисперсійні залежності показників заломлення та коефіцієнтів екстинкції за допомогою оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання. Для опису та аналізу дисперсійних залежностей показників заломлення використано оптико-рефрактометричне співвідношення. Вивчено концентраційну поведінку ширини оптичної псевдощілини та показників заломлення тонких плівок системи TiO2–ZrO2–HfO2. Досліджено вплив композиційного розупорядкування на край оптичного поглинання тонких плівок.

 


Ключові слова


Cпектроеліпсометричні дослідження; Композиційне розупорядкування; Дисперсійні залежності ;

Повний текст:

PDF

Посилання


Ritter E., Appl. Optics 15 (1976) 2318.

Robertson J., Vac J. Sci. Technol. B 18 (2000) 1785.

Gilo M., Croitoru N., Thin Solid Films 350 (1999) 203.

Alvisi M., Di Giulio M., Marrone S.G., Perrone M.R., Protopapa M.L., Valentini A., Vasanelli L., Thin Solid Films 358 (2000) 250.

Alvisi M., De Tomasi F., Perrone M.R., Protopapa M.L., Rizzo A., Sarto F., Scaglione S., Thin Solid Films 396 (2001) 44.

Chow R., Falabella S., Loomis G.E., Rainer F., Stolz C.J., Kozlowski M.R., Appl. Opt. 32 (1993) 5567.

Waldorf A.J., Dobrowolski J.A., Sullivan B.T., Plante L.M., Appl. Opt. 32 (1993) 5583.

Kuster H., Ebert J., Thin Solid Films, 70, 43 (1980).

Pulker H.K., Thin Film Science and Technology. Vol. 6, Elsevier, Amsterdam, 1984.

Hagfeldt A., Grätzel M., Chem. Rev., 95, 49 (1995).

Lin H.M., Keng C.H., Tung C.Y., Nanostructured Mater, 9, 747 (1997).

Xagas A.P., Androulaki E., Hiskia A., Falaras P., Thin Solid Films, 357, 173 (1999).

Arabatzis I.M., Antonaraki S., Stergiopoulos T., Hiskia A., Papaconstantinou E., Bernard M.C., Falaras P., J. Photochem. Photobiol. A: Chemistry, 149, 237 (2002).

Arabatzis I.M., Stergiopoulos T., Bernard M.C., Labou D., Neophytides S.G., Falaras P., Applied Catalysis B: Environmental, 42, 187 (2003).

Wendel H., Holzschuh H., Suhr H., Erker G., Dehnicke S., Mena M., Modern Phys. Lett. B 4 (1990) 1215.

Paterl A.M., M.Spector, Biomaterials 18 (1997) 441.

Ritala M., Leskela M., Appl. Surf. Sci. 75 (1994) 333.

Cao G.-Z., Brinkman H.W., Meijerink J., K.J.De Vries, Burgraaf A.J., Am J. Ceram. Soc. 76 (1993) 2201.

Julien C. Mat.Sci.and Engineering B6 (1990) 9.

Sasaki K., Maier J., Solid State Ionics 134 (2000) 303.

Kruschwitz J.D.T., Pawlewicz W.T. Appl. Optics 36 (1997) 2157.

Cameron M., George S.M. Thin Solid Films 348 (1999) 90.

Krishna M.G., Rao K.N., Mohan S. Appl. Phys. Lett. 57 (1990) 557.

Fu X.Z., Clark L.A., Yang Q., Anderson M.A. Eviron. Sci. Technol., 30, 647 (1996).

Lin S.W., Song C.F., Lu M.K., Gu F., Wang S.F., Xu D., Yuan D.R., Wang C. Mat. Sci. and Engineering: B, 104, 49 (2003).

Copel M., Gribelyuk M., Gusev E. Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 436.

Colpo P., Ceccone F., Sauvageot P., Baker M., Rossi F., Vac J. Sci. Technol. A 18 (2000) 1096.

Jeon T.S., White J.M., Kwong D.L. Appl. Phys. Lett. 78 (2001) 368.

Chang J.P., Lin Y.-S., Chu K., Vac J. Sci. Technol. B 19 (2001) 1782.

Cho B.-O., Wang J., Sha L., Chang J.P., Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 1052.

Cho B.-O., Lao S. X., Chang J.P., J. Appl. Phys. 93 (2003) 935.

Zhu W.J., Ma T.P., Tamagawa T., Kim J., Di Y. IEEE Electron Device Lett. 23 (2002) 97.

Lee H., Jeon S., Hwang H. Appl. Phys. Lett. 79 (2001) 2615.

Xu Z., Houssa M., De Gendt S., Heyns M. Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 1975.

Cho M.-H., Roh Y.S., Whang C.N., Jeong K., Nahm S.W., Ko D.-H., Lee J.H., Lee N.I., Fujihara K. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 472.

Lin Y.-S., Puthenkovilakam R., Chang J.P. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 2041.

Pecharroman C., Ocana M., Serna C.J. J. Appl. Phys. 80 (1996) 3479.

Hirata T. Phys. Rev.B 50 (1994) 2874.

Aarik J., Aidla A., Kiisler A.-A., Uustare T., Sammelselg V. Thin Solid Films 340 (1999) 110.

Nishide T., Honda S., Matsuura M., Ide M. Thin Solid Films 371 (2000) 61.

Alvisi M., Scaglione S., Martelli S., Rizzo A., Vasanelli L. Thin Solid Films 354 (1999) 19.

Baumeister P., Arnon O. Appl. Optics 16 (1977) 439.

Yu J.J., Fang Q., Zhang J.-Y., Wang Z.M., Boyd I.W. Appl. Surf. Science 208-209 (2003) 676.

Shewchun J., Rowe E.C. J. Appl. Phys. 41 (1970) 4128.

Dobrowolski I.A., Ho F.C., Waldort A. Appl. Optics 22 (1983) 3191.

Moss T.S. Phys. Stat. Sol. (b) 131 (1985) 415.

Ravindra N.M., Srivastava V.K. Infrared Phys. 19 (1979) 603.

Penn D.R. Phys. Rev. 128 (1962) 2093.

Wemple S.H. Phys. Rev. B 7 (1973) 3767.

Wemple S.H., Di Domenico M. Phys. Rev. B 3 (1971) 1338.

Ravindra N.M., Auluck S., Srivastava V.K. Phys. Stat. Sol.(b) 93 (1979) K155.

Gupta V.P., Ravindra N.M. Phys.Stat.Sol.(b) 100 (1980) 715.

Borets A.N. Ukr. Fiz. Zhurn. 28 (1983) 1346. (In Ukrainian)

Studenyak I.P., Kranjčec M., Nahusko O.T., Borets O.M. Ukr. J. Phys. Opt. 4 (2003) 139.

Studenyak I.P., Kranjčec M., Kovacs G.S., Panko V.V., Azhnyuk Y.M., Desnica I.D., Borets O.M., Voroshilov Y.V. Materials Science and Engineering B 1998;52:202-207.

Studenyak I.P., Kranjčec M., Kovacs G.S., Panko V.V., Desnica D.I., Slivka A.G., Guranich P.P. J. Phys. Chem. Solids 60 (1999) 1897.

Luca D, Hsu L.S. J Optoelect Adv Mat 2003;5:835-840.

Samuel L., Brada Y., Burger A., Roth M. Phys Rev B 1987; 36:1168-1173.

Skumanich A., Frova A., Amer N.M. Solid State Commun 1985;54:597-601.

Aulika I., Zauls V., Kundzins K., Kundzins M., Katholy S. J. Opt. Adv. Mat. 5 (2003) 755.

Studenyak I.P., Mitrovcij V.V., Kovacs Gy.Sh., Mykajlo O.A., Gurzan M.I., Vysochanskii Yu.M. Ferroelectrics 254 (2001) 295.

Studenyak I.P., Mykajlo O.A., Stephanovich V.O., Gurzan M.I., Vysochanskii Yu.M., Cajipe V.B. Phys. Stat. Sol.(a) 198 (2003) 487.

Studenyak I.P., Mykajlo O.A., Vysochanskii Yu.M., Cajipe V.B. J. Phys.: Condens. Matter. 15 (2003) 6773.

Studenyak I.P., Kranjcec M., Kovacs Gy.S., Desnica-Frankovic I.D., Panko V.V., Slivka V.Yu. Mat. Res. Bull. 36 (2001) 123.

Studenyak I.P., Kranjcec M., Kovacs Gy.Sh., Desnica I.D., Panko V.V., Slivka V.Yu. Journal of Materials Research 16 (2001) 1600.

Bindemann R., Paetzold O. Phys. Stat. Sol. (b) 160 (1990) K183.

Tinoco T., Quintero M., Rincon C. Phys. Rev. B, 44, 1613 (1991).

Jaffe E., Zunger A. Phys. Rev. B, 29, 1882 (1984).


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

ISSN: 2415-8038 (Print).