DOI: https://doi.org/10.24144/2415-8038.2011.30.87-90

Cтабілізіюче покриття люминесцируючих шарів пористого кремнію

Д. Ф. Тимохов

Анотація


Запропонована методика виготовлення люмінесцуючих структур пористого кремнію, що не деградують на відкритому повітрі з часом. Для отримання стабільних структур пористого кремнію було застосовано низькотемпературний відпал  і додавання в електроліт HCl і FeCl3.


Ключові слова


Люмінесцуючі структури; Пористий кремній; Електроліт

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


Canham L.T. Аppl. Phys. Let., 57, 1046 (1990).

U.S. Patent 5,324,965 (1994).

U.S. Patent 5,552,328 (1996).

Timokhov D.F., Timokhov F.P. Microelectron. Eng., 81, 288 (2005).

Тимохов Д.Ф. Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика, 24, 185 (2009).

Тімохов Д.Ф. Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика, 14, 113 (2003).

Chen X.S., Zhao J.J., Wang G.G. Phys. Lett. A, 212(4), 285 (1996).


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

ISSN: 2415-8038 (Print).