DOI: https://doi.org/10.24144/2415-8038.2015.37.89-97

Швидкість вакуумного осадження та оптична якість плівок As2S3

В. М. Жихарєв, В. Ю. Лоя, А. М. Соломон, Я. В. Грицище

Анотація


Методом еліпсометрії проведено дослідження якості та комплексного показника заломлення плівок As2S3, одержаних вакуумним випаровуванням при різних швидкостях їх осадження на підкладку.


Ключові слова


Вакуумне випаровування; плівка As2S3; показник заломлення; еліпсометрія

Повний текст:

PDF

Посилання


Эллипсометрия: теория, методы, приложения (материалы конференции, 9-11 июля 1985 г.). / Отв.ред. Ржанов А.В., Ильина Л.А. – Новосибирск: Наука, 1987. – 191 с.

Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. – 2009. – Т.4, №3-4. – С.72-84.

Михайлов Н.Н., Сидоров. Ю.Г., Дворецкий С.А. и др. Изучение процессов адсорбции и десорбции теллура на поверхности CdTe методом эллипсометрии // Автометрия. – 2000.– №4.– С.124.

Рыхлицкий С.В., Швец В.А., Спесивцев Е.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия физико-химических процессов на межфазных границах // Конденсированные среды и межфазные границы. – 2006. – Т.8, №4. – С.327.

Урывский Ю.И. Эллипсометрия. – Воронеж: изд-во ВГУ, 1971. – 131 с.

Поперенко Л.В., Стащук В.С., Шайкевич І.А., Одарич В.А. Діагностика поверхні поляризованим світлом: Монографія. – К.: ВПЦ “Київський університет”, 2007. – 336 с.

Азаам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – Москва: Мир, 1981. – 583 с.

Жихарєв В.М., Козак М.І., Бобик М.Ю., Сейковський І.Д. Еліпсометричні дослідження оптичних констант легованого і опроміненого халькогенідного скла As2S3 // Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. – 2004.– Вип.16. – С. 31-37.

Назаренко И.Н., Дорофеев Д.Л. Решение обратной задачи эллипсометрии для слоя с изменяющимся по толщине комплексным показателем преломления // Вестник Воронежского государственного университета. Серия химия, биология. – 2001. – № 1. – С.164–169.

Половинкин В.Г., Свиташева С.Н. Определение числа решений обратной задачи эллипсометрии в заданной области параметров // Автометрия. – 1999. – № 4. – С. 94–104.

Коструба А.М., Влох О.Г. Комплексный метод определения трех параметров поглощающих тонких пленок //Спектроскопия твердого тела. – 1996. – Т.80, №6. – С. 920–924.

Дагман Э.Е. Полное решение обратной задачи эллипсометрии для однослойной системы при вариации толщины и угла падения света // Оптика и спектроскопия. – 1988. – Т.65, Вып.5. – С. 1150–1155.

Козак М.И., Биланич Р.М., Жихарев В.Н. Эллипсометрическое исследование оптических параметров сегнетоэлектрических твердых растворов (PbуSn1-y)2P2S6 //Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. –2013.–Вип.34. – С. 28-33.

Жихарєв В.М., Козак М.І., Сейковський І.Д. Еліпсометричне дослідження оптичної однорідності тонких плівок халькогенідного скла As2S3 // Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. –2004. – Вип.16. – С. 59-66.

Козак М.И., Жихарев В.Н., Лоя В.Ю., Студеняк И.П., Шпак И.И., Турок И.И. Эллипсометрическое исследование релаксационных изменений оптических констант и степени неоднородности тонких пленок стеклообразного As2S3 //Письма в ЖТФ. –2006. –Т.32. –Вып.10. –С.82-87.

Козак М. И., Жихарев В. Н., Студеняк И. П., Сейковский И. Д. Эллипсометрическое определение оптических констант тонких пленок стеклообразного As2S3 в области слабого поглощения // Опт. и спектр. –2006. –Т.101.–№4.–С.604-606.


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

ISSN: 2415-8038 (Print).